Состав газов и газовых смесей имеет важную роль во многих процессах научных исследований, в производстве. Во многих применениях, например, в CVD, плазменном травлении или вакуумном анализе UHV-систем, не достаточно одной информации об абсолютном давлении . Для исследования или проведения процесса необходимо получение и документирование данных о наличии специфических молекул в вакуумной установке. 

В связи с этим для проверки, управления и оптимизации процессов используется приборы для  измерения парциального давления. Часто применяются квадрупольные масс-спектрометры (QMS), зарекомендовавшие себя в последние десятилетия как универсальные измерительные приборы. Благодаря их постоянному развитию, современные модели отличаются высокой производительностью наряду с простотой и удобством в эксплуатации.