Коробчатая камера

Камеры коробчатой формы бывают двух основных разновидностей. Первый вариант, герметизированный металлической проволокой и плоскими медными прокладками, часто называют прямоугольной камерой и используют для создания сверхвысокого вакуума. Второй вариант, называемый коробчатой камерой, имеет полностью откидывающуюся стенку в виде дверцы с круглым уплотнительным кольцом и работает с высоким вакуумом. Поскольку обе разновидности имеют плоские стенки, для защиты от атмосферного давления приходится увеличивать их толщину либо использовать дополнительные рёбра жёсткости.

Дверца коробчатой камеры обеспечивает простой и быстрый доступ к любой части внутреннего объёма. Это наилучшая форма камеры для повторяющихся процессов серийного производства, таких как нанесение покрытия на несколько подложек, дегазация изделий, вакуумирование перед пропиткой и пр. В то же время благодаря простоте доступа данная конструкция отлично подходит для исследовательских работ, при которых нужно часто менять источники напыления, материалы покрытий и геометрические параметры напыления.

Стандартные характеристики:

• Корпус камеры из листовой нержавеющей стали марки 304.
• Дверца камеры из листового алюминия марки 6061-T6.
• Дверца уплотнена трапецеидальной канавкой с круглым уплотнительным кольцом и оснащена прямоугольным смотровым окном с защитной крышкой (поле зрения 3-1/4" x 5-1/4").
• Подходит для получения высокого вакуума (HV).