» ELTM.ru » Продукция » Вакуумное и криогенное оборудование. Масла и смазки » Вакуумное оборудование фирмы Kurt J. Lesker » Вакуумные установки » Установки осаждения атомных слоев (ALD)
Мы предлагаем отдельные установки ALD для базовых исследований или полностью интегрированные установки для сложных научно-исследовательских и опытно-конструкторских разработок. Во всех установках на платформе ALD реализован полный контроль над процессом, интегрированное вакуумирование, приборы измерения давления и устройства подачи газов, оптимальные для вашей конкретной области применения.
| Название | Краткое описание | ||
| ALD-150L | Компактная установка с программным управлением представляет собой высокопроизводительный, эффективный ламинарный реактор для осаждения атомных слоёв. | ||
| ALD-200L | Установка средних размеров с программным управлением для передовых исследований и разработок в области осаждения атомных слоёв. | ||
| ALD-8000 | Интегрированная установка с программным управлением допускает применение многих дополнений к реактору осаждения атомных слоёв в едином вакуумном цикле. | ||
| Камера для осаждения атомных слоев | Камера осаждения атомных слоёв компании «Kurt J.Lesker» оптимизирована для сокращения продолжительности циклов и для максимальной гибкости использования. | ||
