Ионные вакуумные насосы
Серия KJLC LION.Серия насосов небольшого размера. Эти насосы имеют преимущество установки в любом положении без дополнительных опор. Особенности:
- Каждый состоит из одного насосного элемента или его части.
- Прокачка одного элемента остается неизменной во всем диапазоне данных небольших насосов; проводимость варьируется в зависимости от выбора входного порта.
- Могут модернизироваться соединениями типа Varian (старыми и новыми) для использования с контроллерами и кабелями Varian.
| |
| Название |
Скорость откачки л/сек (фут3/м) |
Макс. давление запуска, торр (мбар) |
Предельное давление, торр (мбар) |
Входной фланец |
Габаритные размеры ДxШxВ - дюймы (мм) |
Вес, фунты (кг) |
| LION 10 |
10 (Diode) 8 (Noble Diode) |
< 1 x 10-4 |
< 10-11 |
2-3/4" Вращающийся углер. волокно (CF) Горизонтальный |
1,8 x 1,8 x 4,3 (45 x 45 x 108) |
13 (6) |
| LION 25 |
20 (Diode) 15 (Noble Diode) |
< 1 x 10-4 |
< 10-11 |
2-3/4" 4-1/2" Вращающийся CF Вертикальный |
8,2 x 8,9 x 5,1 (209 x 225 x 130) |
20 (9) |
| LION 3 |
3 (Diode) 2 (Noble Diode) |
< 1 x 10-4 |
< 10-11 |
3/8" Cu труба 1-1/3" 2-3/4" Вращающийся CF Горизонтальный Вертикальный |
8,2 x 8,9 x 5,1 (209 x 225 x 130) |
0,8 (0,35) |
| LION 45 |
40 (Diode) 35 (Noble Diode) |
< 1 x 10-4 |
< 10-11 |
4-1/2" Вращающийся CF Горизонтальный Вертикальный |
4,2 x 4,4 x 7,5 (107 x 113 x 190) |
34 (16) |
| LION 75 |
75 (Diode) 60 (Noble Diode) |
< 1 x 10-4 |
< 10-11 |
6" Вращающийся CF |
10,9 x 9,53 x 5,12 (277 x 242 x 130) |
19 (42) |
| LION M |
0,2 (Noble Diode) |
< 1 x 10-4 |
< 10-11 |
1-1/3" Вращающийся CF |
2.0 x 1.65 x 1.86 (50.5 x 41.9 x 47.2) |
0.35 (0.8) |
Серия KJLC® LION™Низкопрофильные ионные насосы. Уникальная по габаритным данным конструкция достигнута расположением элементов вертикально в корпусе ионного насоса. Об ориентации: Уменьшает высоту ионного однопортового насоса до 12 дюймов (30 мм). Создает замкнутый магнитный контур, снижающий воздействие магнитных полей рассеяния вблизи портов ионного насоса на коэффициент 10. Дополнительные особенности: Насосы могут быть оборудованы дополнительными портами на обратном торце или на стороне корпуса насоса, что упрощает добавление системы TSP (титановый испарительный насос) или изменение ориентации сверхвысоковакуумной системы (UHV). Могут модернизироваться соединениями типа Varian (старыми и новыми) для использования с контроллерами и кабелями Varian.
| |
| Название |
Скорость откачки л/сек (фут3/м) |
Макс. давление запуска, торр (мбар) |
Предельное давление, торр (мбар) |
Входной фланец |
Габаритные размеры ДxШxВ - дюймы (мм) |
Вес, фунты (кг) |
| LION 101 |
100(Diode) 960(Noble Diode) |
< 1 x 10-4 |
< 10-11 |
6" или 8" УВ С одним выводом С двумя выводами |
13 x 13 x 5 (325 x 325 x 128) |
65(29) |
| LION 1202 |
1200(Diode) 960(Noble Diode) |
< 1 x 10-4 |
< 10-11 |
8" УВ С одним выводом С двумя выводами |
25.6 x 20.2 x 20.2 (650 x 513 x 513) |
206(452) |
| LION 201 |
200(Diode) 160(Noble Diode) |
< 1 x 10-4 |
< 10-11 |
6" или 8" УВ С одним выводом С двумя выводами |
13 x 16 x 9 (325 x 413 x 233) |
112(50) |
| LION 301 |
300(Diode) 240(Noble Diode) |
< 1 x 10-4 |
< 10-11 |
8" УВ С одним выводом С двумя выводами |
13 x 16 x 13 (325 x 413 x 325) |
145(66) |
| LION 401 |
400(Diode) 320(Noble Diode) |
< 1 x 10-4 |
< 10-11 |
8" УВ С одним выводом С двумя выводами |
13 x 16 x 16 (325 x 413 x 413) |
148(67) |
| LION 402 |
400(Diode) 320(Noble Diode) |
< 1 x 10-4 |
< 10-11 |
6" или 8" УВ С одним выводом С двумя выводами |
20 x 16 x 9 (527 x 413 x 233) |
210(95) |
| LION 601 |
600(Diode) 480(Noble Diode) |
< 1 x 10-4 |
< 10-11 |
8" УВ С одним выводом С двумя выводами |
13 x 20 x 20 (325 x 513 x 513) |
266(1003) |
| LION 602 |
600(Diode) 480(Noble Diode) |
< 1 x 10-4 |
< 10-11 |
6" или 8" УВ С одним выводом С двумя выводами |
20 x 16 x 13 (513 x 413 x 325) |
270(122) |
| LION 802 |
800 (Diode) 640 (Noble Diode) |
< 1 x 10-4 |
< 10-11 |
8" УВ С одним выводом С двумя выводами |
20 x 16 x 16 (513 x 413 x 413 |
280(127) |
Серия KJLC® LION™Высокопрофильные ионные насосы. Уникальная конструкция позволяет устанавливать эти насосы в узкие зоны, благодаря горизонтальной ориентации элементов внутри корпуса ионного насоса. Особенности:
- Высота насоса изменяется со скоростью прокачки; ширина остается постоянной – ниже 10 дюймов (250 мм).
- Насосы могут дополняться портами на обратном торце или на стороне корпуса насоса, что упрощает добавление систем TSP или NEG или изменение ориентации системы UHV.
- Габаритные размеры сходны с насосами Varian VacIon™ Plus.
- Могут модернизироваться соединениями типа Varian (старыми и новыми) для использования с контроллерами и кабелями Varian.
| |
| Название |
Скорость откачки л/сек (фут3/м) |
Макс. давление запуска, торр (мбар) |
Предельное давление, торр (мбар) |
Входной фланец |
Габаритные размеры ДxШxВ - дюймы (мм) |
Вес, фунты (кг) |
| LION 153 |
150 (Diode) 120 (Noble Diode) |
< 1 x 10-4 |
< 10-11 |
6" УВ С одним выводом С двумя выводами 6" УВ, с боковым выводом 8" УВ |
13,3 x 9,7 x 9 (338 x 247 x 231) |
79 (36) |
| LION 303 |
300 (Diode) 240 (Noble Diode) |
< 1 x 10-4 |
< 10-11 |
8" УВ С одним выводом С двумя выводами 8" УВ, с боковым выводом 8" УВ |
13,6 x 17,7 x 9 (345 x 450 x 231) |
145 (66) |
| LION 603 |
600 (Diode) 480 (Noble Diode) |
< 1 x 10-4 |
< 10-11 |
8" УВ С одним выводом С двумя выводами 8" УВ, с боковым выводом 8" УВ |
20,7 x 17,7 x 12 (526 x 450 x 305) |
109 (243) |
Серия KJLC® LION™
Титановые испарительные насосы.
Особенности:
Прекрасное дополнение к нашей технологии ионных насосов.
- Могут устанавливаться в большинство наших ионных насосов.
- Уникальная конструкция со спиральной нитью накала повышает испарение и продлевает срок службы.
- Криогенная завеса и экран внешнего распыления обеспечивают достаточную площадь поверхности для сцепления титана.
ПРИМЕЧАНИЕ. По вопросам заказа титановых испарительных насосов см. одну из трех серий насосов LION. Запасные нити накала для TSP можно приобрести по информации ниже.
Таблица технических характеристик:
1. Экран внешнего распыления.
|
Площадь поверхности кв. мм (кв. дюймов)
|
132,000 (205)
|
|
Крепежный фланец
|
NW 150 CFF (8")
|
|
Вес кг (фунтов)
|
6 (13)
|
2. Жидкостная криогенная завеса.
|
Площадь поверхности кв. мм (кв. дюймов)
|
88,000 (138)
|
|
Крепежный фланец
|
NW 150 CFF (8")
|
|
Объем жидкости (литры)
|
1,15
|
|
Вес кг (фунтов)
|
8 (17,5)
|
3. Титановый испарительный насос.
|
Материал нити накала
|
85% титан, 15% молибден
|
|
Длина нити накала (общая) мм (дюймов)
|
219 (8,6)
|
|
Длина нити накала (свернутая) мм (дюймов)
|
117 (4,6)
|
|
Вес нити накала (граммы)
|
3,1-3,5
|
|
Срок службы нити накала (часы)
|
20, условная эксплуатация
|
|
Максимальный ток (ампер)
|
50 при 8 В пост. ток
|
|
Нитей на TSP
|
3
|
|
Вес сборки кг (фунтов)
|
1 (2,2)
|
|
