Zyvex S200 (ссылка на сайт производителя  http://www.zyvex.com/Documents/S200.pdf) – наноманипулятор  с точностью позиционирования 2 nm

Зондовая станция Zyvex S200 представляет собой интегрированную систему позиционирования для  проведения измерений совместно со сканирующими электронными микроскопами (SEM) или  ионно-лучевыми приборами (FIB) при исследованиях и разработках в микро- и нанообластях.

Zyvex S200 состоит из  наноманипулятора, управляющего блока, компьютера, джойстика и   специализированного программного обеспечения, совместимого с  Windows оболочкой.

Zyvex S200 имеет две степени точности позиционирования:

- грубая – с разрешением 50 nm (длина хода - 12 мм)

- точная – с разрешением 2 nm (длина хода - 70 микрон).

Максимальная скорость перестройки составляет 3 mm/s.

Остроконечная часть зонда конической формы  имеет радиус, не превышающий 50 nm, что обеспечивает многократные измерения в пределах маленькой площади исследуемого образца, а коэффициент соотношения длины зонда к его диаметру позволяет одновременное использование 8 зондов на рабочей области  всего 500 nm. 

Zyvex S200 является гибкой модульной  системой, что позволяет использовать ее совместно с различными измерительными системами  - электрическими, механическими, а также  другим тестовым оборудованием.  Каждый позиционер имеет 5 каналов входов/выходов для совместной работы с другими устройствами.

Области применения:

- исследование электрических характеристик наноструктур

- исследование механических характеристик наноструктур

- микро- и наносборка

- подготовка образцов для проведения исследований с использованием просвечивающих  электронных микроскопов и Рамановской спектроскопии (комбинационного рассеивания  света)

-  нановзаимодействие исследуемых образцов

- нанопозиционирование испытуемого образца

Спецификация Zyvex S200:

• количество: от 1 до 4   • X, Y, Z курсовое разрешение: 50 nm • X, Y, Z доводочное разрешение: 2 nm • X, Y, Z длина хода: 12 mm • Степени свободы перемещения: 3 • Количество входов/выходов каждого позиционера: 5 • Максимальная скорость перестройки: 3 mm/s

Держатель образца:

• Максимальный размер исследуемого образца: 12 mm X 12 mm X 4 mm

Программное обеспечение и управление

• Специализированное программное обеспечение, совместимое с Windows оболочкой

• Программное обеспечение управляющего компьютера

• Джойстик

• 5 входных/выходных каналов на каждый позиционер (тип разъема -  BNC)

Зонды Ultra Sharp NanoEffector

• диаметр острия менее 50 nm

• плавная конусность

• материал – вольфрам (чистота - 99.9%)  

Совместимость с микроскопами SEM

• возможность монтажа и демонтажа пользователем без специального обучения

• выбор заказчиком микроскопа SEM

Система электропитания

• 240V AC 50–60Hz