Анализаторы остаточных газов (RGA) KJLC ®


Приложения

  • Обнаружение утечек
  • Мониторинг откачки и отжига
  • Идентификация газа и загрязнений
  • Диагностика вакуумной системы
  • Мониторинг и контроль процессов

 

Характеристики

  • 2,6x10 -12 Торр MDPP с FC и 1,5x10 -14 Торр MDPP с EM
  • Варианты 100 и 200 а.е.м.
  • Доступны готовые драйверы LabVIEW
  • Доступ к командам API для системной интеграции

 

Таблица технических характеристик

 

RGA с FC

RGA с EM

Тип источника

Открытый источник ионов

Открытый источник ионов

Массовые диапазоны

1-100

а.е.м.1-200 а.е.м.

1-100

а.е.м.1-200 а.е.м.

Разрешение - ширина пика (а.е.м.) при 10% высоты пика

0,9 а.е.м.

0,9 а.е.м.

Чувствительность

3e-4 А / торр

3e-4 А / торр

Минимальное определяемое парциальное давление

2,6e-12 торр

3,5e-12 мбар

1,5e-14 торр

2e-14 мбар

Максимальное рабочее давление

5e-4 Торр

6,7e-4 мбар

5e-4 Торр

6,7e-4 мбар

Максимальная рабочая температура сенсора

200 ° C

150 ° C

Рабочая температура (электроника)

5 - 50 ° C

5 - 50 ° C

Температура прогрева (без электроники)

300 ° C

300 ° C

Связь через веб-интерфейс

Cat5e Ethernet

Cat5e Ethernet

Драйверы LabView

да

да

API

да

да

Входная мощность

20-30 В постоянного тока, 24 В постоянного тока типичный

20-30 В постоянного тока, 24 В постоянного тока типичный

Подключение питания

4-контактный разъем DIN с фиксацией, изолирован от системного заземления.

4-контактный разъем DIN с фиксацией, изолирован от системного заземления.

Варианты филамента

Иридий с вольфрамовым покрытием из иттрия

Иридий с вольфрамовым покрытием из иттрия

Длина датчика (со стороны вакуума)

143 мм

193 мм

Размеры электроники, длина

170 мм

170 мм

Размеры электроники, ширина

115.1 мм

115.1 мм

Размеры электроники, высота

121.7 мм

121.7 мм