TORUS® Mag Keeper™ - Источник магнетронного распыления


Источник магнетронного распыления TORUS® Mag Keeper™ от компании Kurt J. Lesker – это инновационное решение в области нанесения тонких пленок на подложку в вакууме. Новая конструкция магнетрона TORUS® Mag Keeper™ позволяет производить замену мишеней для распыления быстрее, не используя никаких инструментов. Мишени крепятся на магнетрон с помощью держателя с магнитной плитой, что исключает необходимость крепления мишеней с помощью зажимов.

Магнетроны KJLC® TORUS® Mag Keeper™ предназначены для работы с мишенями диаметром от 2", 3" и 4" дюйма. Конструкция магнетрона используется как для цельных, так и для скрепленных с подложкой мишеней (основанием) различных видов, толщиной до 0,375" дюйма.

В зависимости от задач и распыляемого материала, магнетроны TORUS® Mag Keeper™ могут работать от источников постоянного (DC), переменного (AC), импульсного (Pulsed DC, HiPiMS) или высокочастотного (RF) тока.

Магнитный узел в держателе магнетрона Mag Keeper™ может быть укомплектован как стандартными, так и магнитами высокой мощности, которые подходят под размер одного и того же катода. Это дает возможность легкой оптимизация магнитной системы источников магнетронного распыления TORUS® Mag Keeper™ в полевых условиях, а также предоставляет возможность интеграции несбалансированного поля, если это требуется. Магнитная система магнетрона TORUS® Mag Keeper™ может быть укомплектована различными типами магнитных полей: стандартные, сбалансированные, несбалансированные, со специальной магнитной конфигурацией, с реверсивной магнитной системой.

Благодаря тому, что в конструкции магнетронного распылительного устройства TORUS® Mag Keeper™ отсутствуют уплотнительные кольца из эластомеров и используются медные уплотнения, это делает его совместимым не только со сверхвысоким вакуумом (UHV), но и способным выдерживать более высокие тепловые нагрузки.

Меньшая площадь магнетрона позволяет использовать большее количество источников магнетронного распыления TORUS® Mag Keeper™ в кластерных сборках из нескольких магнетронов в стандартных моделях вакуумных камер и установках напыления тонких пленок.

Широкий выбор опций позволяет сконфигурировать варианты исполнения магнетрона TORUS® Mag Keeper™ именно под задачи клиента.

 

Сферы применения:

 

  • НИОКР
  • Оптика
  • Декоративные покрытия
  • Медицина
  • Сенсоры

 

 

Преимущества магнетронов TORUS® Mag Keeper™:

 

  • Компактный дизайн
  • Совместимость в высоком (HV) и сверхвысоком (UHV) вакууме
  • Быстрая смена мишеней, без инструментов
  • Для мишеней: диаметром 2'', 3'' или 4'' дюйма, и толщиной до 0,375''
  • Пригоден для работы при тепловых нагрузках
  • Сбалансированные и несбалансированные типы магнитов
  • Различные конфигурации магнитных систем
  • Распыление железа (Fe) толщиной до 0,120''
  • Низкое рабочее давление (<1 mTorr)
  • Работа при мощности на плотность ≥ 200Вт/дюйм2.
  • Работа при постоянном, переменном и импульсном токе
  • Не требует уплотнительных колец
  • Предусматривает варианты монтажа (на фланцах или без)
  • Затвор для конфигураций с ограниченным пространством
  • Компактный купольный отсекатель (заслонка)
  • Типы источников питания (DC, RА, Impulse DC, HiPiMS)
  • Кластерная сборка в один модуль (до 6 магнетронов)

Технические характеристики:

 

Магнитный узел

Высокая мощность, редкоземельные магниты NdFeB (неодим-железо-бор)

Номинальная мощность

Способен работать при большой плотности мощности ≥200 watts/ in2 (Макс. мощность меняется в зависимости от свойств материала мишени). Верхний уровень плотности мощности может потребовать использования теплоносителя.

Рабочее давление

0,5-50 mTorr

Размеры мишеней

2'', 3'', или 4”

Толщина мишеней

До 0,375''

Смена мишени

Без зажима для мишеней или крышки для верхнего анода

Замена магнита

Быстрая смена магнитного узла

Уплотнения

Без уплотнительных колец - магниты не подвергаются воздействию охлаждающей воды

Уровень использования мишени

Использование мишени в границах 30% (с немагнитными материалами в нереактивном режиме)

Вакуум

Высокий и сверхвысокий вакуум

Глобальная техническая поддержка

Штаб-квартиры в США, Канаде, Европе и КНР

Гарантия

На всю продукцию распространяется 1 год гарантии

 


Видео